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揮發(fā)性有機物(VOCs)指常壓下能夠以氣態(tài)形式排放到空氣中的有機化合物，按其化學結(jié)構(gòu)分別為：烷類、芳烴類、酯類、醛類等。常見的有機物如：苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、氯甲烷等。揮發(fā)性有機物(VOCs)進入大氣后不斷積存，形成顆粒物、有機氣溶膠，至畸、致癌，危害動植物生長，持久影響生態(tài)環(huán)境。
揮發(fā)性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜，常見有機廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨運用或無法達成經(jīng)濟高效運行，或不能滿足嚴苛的排放標準。
焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣。
吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求。
冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系，偏離這種匹配關(guān)系將提高治理成本，影響治理效果。
沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+焚燒法：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備基本依靠進口，自主產(chǎn)品尚不成熟。該方案同樣與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系。
低溫等離子、光催化氧化法：揮發(fā)性有機物處理效率低，只能作為輔助性的治理手段。
高溫等離子焚燒技術(shù)是高頻（30KHz）高壓（100KV）大功率電源在特定條件下的聚能放電，產(chǎn)生3千℃等離子態(tài)高溫氣流。
有機廢氣在反應器中經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間（萬分之5秒）成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機物清除率大于98%。
高溫等離子焚燒裝置無需濃縮，便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣，僅消耗10kW電力。
從資金投入和營運成本考量，高溫等離子焚燒方案要優(yōu)于濃縮吸附+RTO焚燒方案。
工藝流程示意圖：

高溫等離子焚燒技術(shù)優(yōu)勢：
模塊化設(shè)計，配置靈活，經(jīng)濟高效，可處理從幾百立方到幾十萬立方不同濃度、流量的有機廢氣。
無需預熱，即開即用。
能效比高，高溫等離設(shè)備廢氣排放口溫度，比進氣口溫度僅提高幾十度。能夠處理高濃度、成分復雜、易燃易爆及含有水分、固態(tài)、油狀物的工業(yè)廢氣，實現(xiàn)達標排放。
風阻小，能耗低，不消耗天然氣，無碳排放問題。沒有閥門等運動部件，能夠無故障，不間斷運行上萬小時。
苯并芘、二惡英等難以處理的物質(zhì)，瞬間分解，實現(xiàn)達標排放。（是垃圾焚燒尾氣排放二惡英問題的理想解決方案）
天燃氣焚燒法因其工作機理及自身結(jié)構(gòu)上的缺陷，在易燃易爆場所，或處理廢氣中含有可燃成分時需要考慮防爆問題。
高溫等離子焚燒技術(shù)是一個劃時代的技術(shù)變革。